讲座时间、地点：2024年3月22日 A1-316

主讲人信息：申人升、教授、大连理工大学微电子学院副院长

讲座内容：

集成电路（IC）产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，是引领新一轮科技革命和产业变革的关键力量。本次讲座选取 IC 产业中典型的CMOS 器件结构，重点讲解深亚微米 CMOS制程中的关键工艺（薄膜沉积、光刻、离子注入、刻蚀）的原理及工艺操作。采用单机客户端版、网络在线版以及 VR 体验版对当前集成电路芯片领域最为常见的 CMOS 工艺进行“沉浸式”体验学习。